這說明問題不在工藝手法上，方培生已經把能調的引數都調過了，還是不行，那就不是操作的問題。
他合上記錄本，站起來，看了方培生一眼。
方培生靠在操作台邊上，雙手插在工裝口袋裡，眼睛盯著那三排廢片，嘴唇抿的緊緊的。
陳序年頭一回在方培生臉上看到這種表情，焦躁，和找不到方向的急。
「先停一停。」陳序年說。
方培生抬頭看他。
「我晚上想，明天給你方案。」
方培生沒有問他憑什麼能想出來，只是點了下頭，說了句好，轉身把三批廢片歸檔。
陳序年出了實驗室，走回宿舍的路上，腦子裡已經在轉了。
三批都是針孔，工藝引數不同但結果相同，說明真正的變數不在那幾個引數里，那變數在哪？
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他把氧化工序的流程在腦子裡走了一遍：矽片放入石英管爐，通入氧氣，高溫下矽和氧反應，表面生成二氧化矽薄膜，整個過程里，除了溫度和時間，唯一的外部輸入就是氧氣本身。
氧氣本身。
他心裡有了方向。
當晚，他把門插好，窗簾拉嚴，從床板暗格里摸出膝上型電腦，開機，登入，打字：
「矽片熱氧化過程中，氧化層出現大量針孔缺陷，可能原因是什麼？如何解決？」
崑崙的回覆很快。
陳序年盯著螢幕，一行一行的往下看。
答案印證了他的判斷：氧化用氧氣中的微量水蒸氣是針孔的主要原因，水分子在高溫下會在矽表面形成羥基，破壞氧化層的緻密性，導致區域性生長不均勻，產生針孔。
解決辦法是，在氧氣進入爐管之前，用五氧化二磷做深度乾燥，將水汽含量降到百萬分之一以下。
他把關鍵資料抄進手抄筆記本，關機，收好。
躺在床上，他想了一下怎麼把這個資訊交出去，不能直接說是我查到的，那說不通。
最自然的方式是把方向給出來，讓何建軍去配乾燥裝置，配氣體乾燥劑正好是化工那邊的活。
……
第二天一早，他去找何建軍。
何建軍正在實驗室里做三氯氫矽的常規監測，見陳序年進來，放下手裡的試管，擦了擦手。
「找我？」
「建軍，幫個忙。」
「什麼事，你說。」
「方培生那邊氧化工序出問題了，氧化層老是有針孔，我琢磨著可能是氧氣里水汽太高，你能不能在精餾塔旁邊搭一套氣體乾燥裝置？用五氧化二磷做乾燥劑，讓氧氣從裡面過一遍再送進爐管。」
何建軍想了想。
「五氧化二磷吸水性很強，做乾燥劑沒問題，我搭個U型管，把五氧化二磷填進去，氧氣走管路過一道就行。」
他頓了一下，又說。
「大概要兩天時間，玻璃管的重新吹一根，現成的口徑不對。」
「行，越快越好，做好了直接接到方培生那邊。」
「沒問題。」何建軍點頭，「後天下午你過來驗收。」
兩天後，乾燥裝置搭好了。
何建軍親自測了出口氣體的水汽含量，跟陳序年說。
「達標了，百萬分之一以下，放心用。」
他把供氣管路接到方培生的實驗室，交接的時候跟方培生交代。
「這套裝置乾燥劑大概一個月飽和一次，到時候的換新的，我會提前通知你。」
方培生問了句：「飽和了會有什麼表現？」
「出口水汽含量會升上去，我每周測一次，到了就給你換。」何建軍說。
方培生點頭，當天下午就用乾燥後的氧氣重新試驗第四批。
這一次，氧化層從爐里出來，方培生切了一片，放到顯微鏡下。
他盯著看了很久。
老張在旁邊等著，手裡攥著筆，記錄本攤開了沒寫。
方培生直起腰，聲音比平時鬆了一點。
「這回對了。」
老張湊過去看了一眼，長出了口氣，在記錄本上寫下：第四批，氧化層合格，無針孔。
小李在旁邊站著，肩膀明顯的松下來了，問了一句。
「方工，這批全過了？」
「全過了。」方培生說。
方培生把那片切片取下來，貼好標籤收進檔案盒，然後轉頭看了陳序年一眼，陳序年進來的時候正好趕上他看完顯微鏡。
「你怎麼知道是水汽？」方培生問。
「猜的。」陳序年說，「三批工藝引數不同，結果相同，說明問題不在工藝上，氧化過程里唯一的外部輸入就是氧氣，水汽是最容易被忽略的那個變數。」
方培生看了他幾秒，沒再追問，點了下頭，轉身把失敗原因和解決方案工工整整的寫進記錄本。
陳序年出了實驗室，在走廊里碰見林晚秋，她從醫務室方向過來，手裡端著一隻空搪瓷盆。
「怎麼在這？」她問。
「方培生那邊有進展。」
「好訊息？」
「嗯。」
她看了他一眼，沒追問具體內容，說了句那挺好，端著盆往前走了。
走了兩步又停下來，回頭。
「晚上食堂見？」
「見。」
「六點，別遲到。」
「不遲到。」
她走了。
陳序年看著她拐進走廊盡頭，然後轉身回辦公室。
……
氧化層過關之後，方培生沒有歇。
擴散工序是他在鍺管上摸了大半年的老本行，從鍺遷移到矽，溫度高了、時間長了，但核心邏輯一樣。
他把退火曲線重新標定，把摻雜濃度的時間控制從沙漏升級為老張做的滴水計時裝置，每十秒一滴，比沙漏精準一個量級。
老張做那個裝置的時候還挺得意，跟小李顯擺。
「沙漏誤差兩秒，我這個誤差零點三秒，差十倍。」
封裝工位的潔淨度也比鍺管時期提了一檔，紗布帘子加到三層，地面鋪濕布條吸灰，進封裝區換鞋、拍衣服、戴口罩。
方培生定了規矩，誰不換鞋就不讓進。
全組七個人各有各的活，前道的切片研磨由其他人做著，方培生自己帶老張和小李攻核心的擴散和封裝。
從氧化過關到第一批矽電晶體出來，用了三周。
七月初，老張把一隻深藍色的絨布盒送到陳序年辦公室。
「方工讓你看。」
老張把盒子放在桌上，臉上帶著點藏不住的高興。
「第一批矽管，出來了。」