2006年1月16日，周一。
清晨六點半，林遠到實驗室的時候，發現門已經開了。
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德·克魯伊夫站在EUV光刻機旁邊，正在跟兩個工程師低聲討論什麼。看到林遠進來，他抬起頭，主動打了個招呼。
"早。"
"早。"林遠有些意外。昨天的德·克魯伊夫還是"觀察者"，今天的氣場完全不同——更像是"隊友"。
"我昨晚想了一件事。"德·克魯伊夫走過來，手裡拿著一份列印出來的數據報告，"你昨天的二次諧波降噪方案——我讓團隊做了一夜的仿真驗證。"
他把報告遞給林遠。遞過來的時候，手指在報告邊緣停了一秒，補充了一句："這份仿真報告我只給范德梅爾看過。其他高管暫時還不知道。"
"結論是：如果把這個方案寫進EUV光源的標準配置，長期穩定性可以提升至少20%。對量產線來說，維護周期能從三個月延長到將近四個月，每台設備一年能省近兩百萬歐元。"
林遠翻了兩頁，看到仿真曲線和實測數據的對比圖。兩組曲線幾乎完全重合。
"你們的仿真團隊效率很高。"他說。
"是我的團隊終於有了值得仿真的東西。"德·克魯伊夫說，語氣里有一絲笑意。
上午九點，第三天測試開始。
今天的測試方案跟前兩天不同——不是單次信號完整性測試，而是連續十二小時的極限耐久測試。
"十二小時不間斷全功率運行。"趙強在測試系統里輸入參數，"模擬量產線的真實工況。溫度、振動、光學漂移全部疊加。這是最接近實際生產環境的測試。"
德·克魯伊夫站在旁邊，認真地看著趙強的每一步操作。
"前六個小時數據會相對穩定。"趙強一邊設置一邊解釋，"關鍵看第六到第十二個小時——熱蠕變進入非線性區間之後，CTIN的補償能力還能不能跟住。"
"你們在擔心什麼？"德·克魯伊夫問。
"不是擔心。"趙強看了林遠一眼，"是驗證。"
九點十五分，測試啟動。
EUV光源功率運行。工件台高速位移。光學系統連續掃描。所有參數拉滿。
第一個小時。精度1.72nm。穩定。
第二個小時。1.73nm。正常漂移。
第三個小時。1.73nm。CTIN補償介入，漂移被壓住。
趙強每隔三十分鐘記錄一次數據。分析腳本在後台同步分析，終端上實時更新漂移預測曲線。
第四個小時。1.74nm。
第五個小時。1.75nm。
第六個小時——臨界點。
趙強盯著屏幕。漂移曲線在1.75nm的位置停了三秒鐘，然後——
開始回落。
1.74。1.73。1.72。
"在降？"德·克魯伊夫皺起眉頭，"這不對。熱蠕變不會自己減速。"
趙強快速切換到CTIN的補償日誌。他看了一分鐘，然後轉頭看向林遠，眼裡有一種他很少表露的情緒——興奮。
"CTIN在做自適應學習。"他說，"它檢測到第六個小時之後的漂移模式跟前五個小時不一樣，自動調整了補償策略。不是線性外推——是實時擬合。"
"什麼意思？"德·克魯伊夫追問。
"意思是——"趙強斟酌了一下用詞，"CTIN不只是在補償漂移。它在學習漂移的規律。然後提前預判。"
他頓了頓，換了個說法："就像人騎單車——剛開始騎的時候歪歪扭扭，要不停修正方向。騎久了之後身體自己就記住了，不用想就知道往哪邊壓彎。CTIN現在就是這個狀態——它騎過這段漂移曲線之後，自己學會了怎麼騎。"
德·克魯伊夫聽完，若有所思地點了點頭。
實驗室里安靜了幾秒。
德·克魯伊夫走到屏幕前，仔細看了補償日誌的每一條記錄。他的眉頭越皺越緊——不是因為出了問題，而是因為CTIN做到了一件ASML自己的校正系統做不到的事。
"你們的系統——"他終於開口，聲音比之前低了很多，"它有自我修正能力？"
"有。"林遠說，"但前提是數據量足夠。前六個小時的數據建立了基準模型，第六個小時之後，模型開始根據實時數據自我疊代。運行時間越長，補償精度越高。"
"這不是校正系統。"德·克魯伊夫轉過身來，看著林遠，"這是進化系統。"
中午十二點，測試跑到第六個小時。
精度穩定在1.72nm。CTIN的自適應學習持續運行，補償參數每隔五分鐘微調一次。
林遠走出實驗室，在走廊里接了一個電話。
蘇明遠。
"遠哥，有個情況。"蘇明遠的語氣比平時緊，"台積電那邊有人接觸了我們國內的替代供應商——就是我在查的那幾家。"
"什麼目的？"
"摸底。他們問了一些很具體的問題——國內高精度軸承的加工精度、光學元件的鍍膜工藝、雷射器的功率穩定性。都是EUV供應鏈上下游的東西。"
林遠沉默了兩秒。"他們怎麼知道我們在找替代供應商？"
"不知道。但這些供應商不止給我們供貨——台積電也是他們的客戶。台積電來問技術問題，供應商不會覺得奇怪。"
"謝弗的手？"
"有可能。"蘇明遠說，"但也可能不是。台積電自己也在做EUV供應鏈的多元化布局。2006年是他們的先進位程量產年，他們比我們更急。"
"先不動。"林遠說，"讓供應商正常對接，不要透露我們在做什麼。台積電那邊——如果他們想談，就讓他們談。"
"你的意思是——"
"讓台積電替我們驗證一遍供應鏈的底線。"林遠說，"他們踩過的坑，我們就不用再踩了。"
"還有一件事。"蘇明遠補充道，"你上次讓我列的國內替代供應商清單，有進展了。長春光機所那邊給了回函，光學元件方面他們願意談。另外成飛精密的加工精度——比我們預期的要好。"
"好。"林遠說，"清單繼續完善。ASML這邊的測試結束之後，我需要一份完整的備選方案。"
"明白。"蘇明遠說。
掛了電話，林遠站在走廊里想了一會兒。
他看了一眼手錶。十二點十五分。
測試還有六個小時。
他在心裡盤算。台積電摸到的那些供應商，技術水平參差不齊，真正能達到EUV精度要求的不超過三家。等他們篩完，會發現最優解還是CTIN。
他們嗅到了味道，但還不知道味道的源頭。
下午六點，十二小時連續測試結束。
最終精度：1.70nm。
比測試開始時的1.72nm還低了0.02。
CTIN的自我修正能力在第六個小時之後持續發揮作用——補償精度隨著運行時間的增加反而在提升。十二個小時的數據，畫出了一條前所未有的曲線：不是傳統的熱蠕變上升曲線，而是一條先升後降的"倒鉤線"。
趙強把這條曲線保存下來，命名為"CTIN自適應學習曲線"。
終端屏幕上彈出了分析報告——
"對比ASML標準熱蠕變預測模型：CTIN在運行至第5.8小時時觸發二次補償模式，漂移斜率由+0.005nm/h轉為-0.008nm/h。模型預測極限精度可收斂至1.68nm（置信區間95%）。該行為模式在ASML現有文獻中無對應記錄。"
"這條曲線——"他看著屏幕，"如果寫進遴選答辯的技術報告裡，院士們會明白這意味著什麼。"
"意味著什麼？"德·克魯伊夫從旁邊問。
"意味著我們的系統不是越用越差——是越用越好。"趙強說，"這在光刻領域，從來沒有人做到過。"
德·克魯伊夫站在旁邊，一言不發。他把十二小時的數據全部拷進了一份獨立文件，然後走到林遠面前。
"林先生，"他說，"我需要把這份數據發給范德梅爾。今晚就發。"
"可以。"林遠說，"但有一個條件。"
"什麼條件？"
"這份數據的所有權歸遠望。ASML可以用作內部研究，但不能在沒有我們授權的情況下對外發布。"
德·克魯伊夫點了點頭："公平。"
晚上，林遠回到酒店。
他坐在書桌前，翻開筆記本。趙強白天說的那句話一直在他腦子裡轉——"這不是校正系統，這是進化系統。"
CTIN在EUV全功率環境下被徹底激發。這個特性如果應用在國內的光刻產線上，意味著設備不需要頻繁停機校準。系統會自己學習、自己修正、自己優化。
他想起了前世看過的一篇論文。那是2015年ASML發表的，講的是EUV光源的長期穩定性問題。那篇論文的核心結論是——熱蠕變是EUV量產的最大瓶頸之一。
而他手裡的CTIN，正在用自己的方式解決這個問題。
不是對抗物理規律——是學習物理規律。
林遠合上筆記本。
還有三天。但這盤棋的格局，已經超出了費爾德霍芬這間實驗室。